池田屋新品ULVAC LR60多級羅茨型干泵 

池田屋新品ULVAC LR60多級羅茨型干泵 

摘要： 在半導(dǎo)體PVD濺射、蒸鍍及Load Lock室抽空工藝中，快速穩(wěn)定的真空排氣是提升產(chǎn)能與保障工藝節(jié)拍的關(guān)鍵。池田屋全新引入的日本ULVAC（愛發(fā)科）LR60型多級羅茨型干泵，通過低溫區(qū)域泵體均熱化設(shè)計(jì)，在PVD工藝之外尤其擅長縮短備料下料室排氣時(shí)間，配備氦氣密封與瞬停對策，為半導(dǎo)體與電子器件制造領(lǐng)域提供了高可靠性的真空排氣解決方案。

正文：

在PVD（物理氣相沉積）濺射與蒸鍍工藝中，以及半導(dǎo)體設(shè)備的Load Lock室（備料下料室）抽空環(huán)節(jié)，快速達(dá)到工藝所需真空度是縮短設(shè)備循環(huán)時(shí)間、提升產(chǎn)能的關(guān)鍵。傳統(tǒng)干式真空泵在追求高抽速的同時(shí)，往往面臨功耗高、耐腐蝕性不足等問題。為應(yīng)對這一挑戰(zhàn)，池田屋引入日本ULVAC LR60型多級羅茨型干泵。

LR60通過低溫區(qū)域泵體均熱化設(shè)計(jì)，在PVD工藝之外，尤其適用于為了縮短排氣時(shí)間的Load Lock室抽空場景。其最大排氣速度在50Hz下達(dá)到62 m3/h（1030 L/min），60Hz下達(dá)到80 m3/h（1333 L/min），到達(dá)壓力為5.0 Pa。

在安全與可靠性方面，LR60搭載屏蔽電動機(jī)，形成氦氣密封的密閉結(jié)構(gòu)，確保高安全性。產(chǎn)品已采取1000msec以內(nèi)的瞬停對策，有效應(yīng)對電力波動。主要零部件采用表面硬度高、耐腐蝕性優(yōu)異的特殊表面處理，降低腐蝕性氣體排氣時(shí)對泵內(nèi)部的化學(xué)侵蝕。支持數(shù)據(jù)通信功能，可通過專用軟件讀取泵運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)數(shù)據(jù)及警告/報(bào)警履歷，實(shí)現(xiàn)集中監(jiān)控。

在規(guī)格方面，LR60吸氣口為VG50（KF50），排氣口為KF40，重量180kg，電源為三相200VAC（50/60Hz），穩(wěn)定時(shí)電流為6.9A（at 200V）。冷卻水要求一次壓力0.1~0.3MPa，出入口壓差>0.1MPa，流量>5.0L/min。氮?dú)獯祾叩妮S吹掃量為5SLM，氣鎮(zhèn)范圍為0~45SLM。

在應(yīng)用場景方面，LR60廣泛適用于濺射/蒸鍍等PVD成膜裝置、Load Lock室快速抽空，以及渦輪分子泵/機(jī)械增壓泵的前級輔助排氣等場景。

行業(yè)觀察人士指出，在半導(dǎo)體與平板顯示制造領(lǐng)域，Load Lock室排氣速度直接決定設(shè)備產(chǎn)能與運(yùn)行效率。池田屋此次引入的ULVAC LR60多級羅茨型干泵，以其62 m3/h抽速、低溫均熱化設(shè)計(jì)及高耐腐蝕性等核心優(yōu)勢，為國內(nèi)PVD與Load Lock應(yīng)用提供了高效可靠的真空解決方案。

綜合來看，該產(chǎn)品的推廣應(yīng)用，有助于提升PVD工藝與Load Lock室抽空環(huán)節(jié)的排氣效率與系統(tǒng)可靠性，為半導(dǎo)體與電子器件制造提供堅(jiān)實(shí)的技術(shù)支撐。